光刻技术是推动集成电路芯片制程工艺持续微缩的核心驱动力之一。近日，北京大学化学与分子工程学院彭海琳教授团队及合作者通过冷冻电子断层扫描(cryo-electron tomography，cryo-ET)技术，首次在原位状态下解析了光...
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