探秘台积电美国 Fab 21 工厂如何制造 4 纳米半导体晶圆

IT之家 10 月 22 日消息，台积电官方 YouTube 账号于 10 月 19 日发布视频，罕见展示了其美国亚利桑那州 Fab 21 晶圆厂的内部视频，首次向公众展示了这座全球最先进半导体工厂的运作细节。

视频中最引人注目的特点之一，是被称为“白银高速公路”（Silver Highway）的高架轨道系统。该系统主要确保生产流程的顺畅与高效，负责高速、精准地运输装有 12 英寸硅晶圆的 FOUP（前开式晶圆传送盒）。

视频还展示了黄色灯光下的洁净室，这种特殊光照环境是为了保护涂覆在晶圆上的光刻胶层不受损害。IT之家附上相关视频截图如下：

在核心设备方面，视频近距离展示了来自荷兰阿斯麦（ASML）的 Twinscan NXE:3600D 极紫外光刻（EUV）机，是制造先进制程芯片不可或缺的工具。

它们能够在硅晶圆上蚀刻出小至 13 纳米的精细电路结构，其形成的晶体管比一根头发丝还要小上 1 万到 2 万倍。正是凭借这些设备，Fab 21 工厂目前得以顺利运营台积电的 4 纳米（N4）和 5 纳米（N5）制程节点。